低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
低温等离子体一般用来处理VOC有机废气，是利用高压放电时候产生的高能电子和离子，分解废气分子。同时高能电子把氧分子分解成两个氧原子，并与氧分子再次结合成臭氧。臭氧是强氧化剂，可以氧化有机污染物。水分子受轰击分解成羟基自由基，也是强氧化剂，同样可以氧化有机物。
利用高能电子撞击废气中的H2O、O2等分子，产生0、OH、O3等氧化性很强的自由基，将废气中的H2S等氧化。
常见的废气处理设备主要包括以下几种： **低温等离子净化设备**：利用等离子体电离电子，使其转化为带电的离子，即正离子与负离子。对有机废气及其它刺激性异味有去除效果，通过等离子对有机废气进行协同分解氧化反应searchIndex index=1 /searchIndex index=2 /。
废气处理设备主要有：除尘设备：用于去除废气中的颗粒物，如机械除尘器、布袋除尘器、湿式除尘器等。这些设备主要通过物理方式捕获颗粒物，减少对大气的污染。其中机械除尘器适用于处理较大颗粒的废气，布袋除尘器和湿式除尘器则适用于处理较小颗粒的废气。
废气塔：用于处理工业生产过程中产生的酸性气体、碱性气体、有机溶剂蒸汽等有害气体。 活性炭吸附设备：通过活性炭的吸附作用，去除废气中的有机物、异味、色素等污染物。 UV光解废气处理设备：利用紫外线光解作用，分解有机物，减少有害气体的排放。
以下是常见的废气处理设备： 除尘器：除尘器是用来去除工业废气中的固体颗粒物的设备。它通过引导废气通过过网页链接滤器，将其中的颗粒物截留下来，使废气排放时的颗粒物浓度降低到规定标准以下。常见的除尘器有电除尘器、袋式除尘器、湿式除尘器等。
优点： （1）初期除尘效率能达到99%，能捕集1um以下的细微粉尘，但从经济方面考虑，一般控制一个合理的除尘效率。 （2）处理烟气量大，可用于高温（可高达500℃）、高压和高湿（相对湿度可达100%）的场合，能连续运转，并能实现自动化。 （3）具有低阻的特点，电除尘器压力损失仅100～200Pa。
静电除尘器的优点 ⑴ 净化效率高，能够铺集0.01微米以上的细粒粉尘。在设计中可以通过不同的操作参数，来满足所要求的净化效率。⑵ 阻力损失小，一般在20毫米水柱以下，和旋风除尘器比较，即使考虑供电机组和振打机构耗电，其总耗电量仍比较小。
具有低阻的特点，压力损失仅100～200Pa。
国内首创的整体新型RS电晕线最高长度可达15米，具有起晕电压低，电晕电流密度大，钢性强，永不破损，具有抗高温、抗热变能力，结合顶部振打方式清灰效果极佳。根据粉尘浓度大小配置相应的电晕线密度，从而可适应高粉尘浓度的收尘，最高允许入口浓度可达1000g/Nm 3。
静电除尘器的优点有：能够捕集0.01微米以上的细粒粉尘，净化效率高。阻力损失小，总耗电量和旋风除尘器相比仍比较小。允许的操作温度高，最高可达到四百摄氏度以上。处理气体范围量大。可以完全实现操作自动控制。
静电吸尘器又称为静电除尘器。静电除尘器的基本原理是利用电力捕集烟气中的粉尘，主要包括以下四个相互有关的物理过程：气体的电离、粉尘的荷电、荷电粉尘向电极移动、荷电粉尘的捕集。
